Одночастотные непрерывные УФ-лазеры UFL-SF
UFL-SF — это серия одночастотных ультрафиолетовых (УФ) волоконных лазеров с рабочими длинами волн 257.5 нм, 266 нм, 355 нм и 385 нм, предназначенных для задач, требующих высокой спектральной чистоты, стабильности и надежности.
Лазеры обеспечивают сверхузкую ширину спектра (<400 кГц), высокое качество пучка (M² < 1.05) и настройку длины волны за счёт точной термостабилизации и пьезо-подстройки. Компактная конструкция включает задающий лазер, усилитель, блок питания и управление в одной системе, не требующей жидкостного охлаждения.
Благодаря высокой стабильности и простоте эксплуатации, эти лазеры особенно эффективны в задачах литографии, спектроскопии и микроэлектронного производства.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Режим работы | Непрерывный (CW), одночастотный, TEM₀₀ |
| Стандартные длины волн | 257.5 нм, 266 нм, 355 нм, 385 нм |
| Максимальная выходная мощность | 50 мВт, 150 мВт, 300 мВт, 500 мВт |
| Ширина спектральной линии (FWHM) | < 400 кГц |
| Качество луча, M² | < 1,05 |
| Регулировка мощности | 20 – 100 % |
| Стабильность мощности | < 1% |
| Потребляемая электрическая мощность | < 1000 Вт |
| Охлаждение | Принудительное воздушное |
Примечания
- -
Ключевые особенности
Высокая стабильность мощности и длины волны
Воздушное охлаждение
Низкое энергопотребление
Высокая надежность
Низкие затраты на обслуживание
Области применения
- DUV литография и ультрафиолетовая проекционная литография
- Производство фотошаблонов и фотомасок
- Инспекция и восстановление фотошаблонов
- Запись FBG-решеток
- УФ-спектроскопия
- Спектроскопия нефти, газа и углеводородов
- Контроль качества в микроэлектронике